凈化廠房工業(yè)管道一般規(guī)定

8工業(yè)管道

8.1一般規(guī)定

8.1.1、8.1.2本次修訂的理由是：

    (1)由于現(xiàn)有潔凈廠房內(nèi)，除給排水管道外的工業(yè)管道還包括各類氣體輸送、液體輸送和真空管道等，所以將本章擴(kuò)大更名為“工業(yè)管道”。據(jù)了解，目前潔凈廠房內(nèi)的工業(yè)管道干管、支干管均基本敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或特殊的管廊內(nèi)，這種方式既可滿足潔凈室（區(qū)）生產(chǎn)工藝的需要，符合潔凈室（區(qū)）布置和潔凈、美觀的要求，又有利于各類管道的安裝、維護(hù)。

    (2)據(jù)調(diào)查了解，目前在潔凈室（區(qū)）內(nèi)的易燃、易爆、有毒物質(zhì)的輸送管道大多采取明敷的方式，即包括這類物質(zhì)輸送管道的干管、支干管和接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的支管均采取明敷的方式，以便容易發(fā)現(xiàn)這類物質(zhì)在輸送過程中可能發(fā)生的泄漏，有利于即時(shí)采取搶救措施。但是由于各種原因，并不是所有的潔凈室都采用明敷，也有的工程在采取必要的安全保護(hù)措施后，將這類物質(zhì)的輸送干管、支干管敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，此時(shí)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)應(yīng)設(shè)置可靠的氣體泄漏報(bào)警和機(jī)械排風(fēng)措施，一旦此類管道發(fā)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)泄漏至技術(shù)夾層、技術(shù)夾道后，當(dāng)超過規(guī)定的濃度限值時(shí)，氣體報(bào)警裝置發(fā)出聲光信號，并自動(dòng)連鎖開啟事故排風(fēng)機(jī)，避免事故的發(fā)生，為此作了第3、4款的規(guī)定，第4款為強(qiáng)制性條文。

   (3)原規(guī)范規(guī)定的“管道及管架宜設(shè)裝飾面板”，由于“裝飾面板”式樣不明確，在實(shí)施中形式多樣，且不統(tǒng)一，有的采用裝飾不銹鋼套管，易于清潔、整齊光滑，有的僅為“象征性”措施，不能達(dá)到潔凈、美觀的目的，甚至不易清潔、維護(hù)，為此本次修訂取消了此規(guī)定。

8.1.3工業(yè)管道的管徑通常應(yīng)按輸送物質(zhì)的物化性質(zhì)和具體工程中所輸送物質(zhì)的流量，溫度、壓力和流速確定。其中流量，壓力、溫度是依據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝確定，但管內(nèi)物料流速應(yīng)按其物化性質(zhì)、狀態(tài)合理確定。

     各種物料在輸送過程中應(yīng)盡量減少污染，使停止使用時(shí)的物料殘留盡量少，并使管道系統(tǒng)易于吹除，因此各類工業(yè)管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短，避免“盲管”等不易吹除的死角。

     由于各類工業(yè)管道在投人使用前或檢修前、后均應(yīng)進(jìn)行吹除、排放達(dá)到預(yù)期潔凈度或純度要求，為此各工業(yè)管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口，以確保各系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運(yùn)行。為進(jìn)行物料的化驗(yàn)、分析或吹除效果的取樣，相應(yīng)的管道系統(tǒng)還應(yīng)設(shè)置取樣口。

     鑒于各類工業(yè)管道輸送的物料品種較多、純度不同，不能做統(tǒng)一的強(qiáng)制性規(guī)定，為此將本條改為推薦性條文。

8.1.4本條規(guī)定工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫，是便于檢查焊縫的焊接質(zhì)量。為保持潔凈室的空氣潔凈度和室內(nèi)正壓規(guī)定，管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施，密封材料常用硅橡膠等填堵。

8.1.5可燃?xì)怏w（包括城鎮(zhèn)燃?xì)?、天然氣、氫氣等）和氧氣管道系統(tǒng)發(fā)生事故或氣體純度不符合要求時(shí)，需吹除置換，這些氣體吹除置換時(shí)不能排入室內(nèi)，所以在管道末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管，以便將氣體排入大氣。放散管的排放口應(yīng)高出屋脊1m，以防止由于風(fēng)向的影響使排放的氣體倒灌回室內(nèi)。本條涉及可燃?xì)怏w等管道系統(tǒng)的運(yùn)行安全，為此作為強(qiáng)制性條文規(guī)定。

8.1.6對氣體純度要求嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，如電子工業(yè)中電真空器件、半導(dǎo)體器件、特種半導(dǎo)體器件、集成電路等生產(chǎn)工藝，從材料制備到器件制造、封裝、性能測試等工藝過程中各種高純氣中的雜質(zhì)含量將直接影響產(chǎn)品的合格率，如氫氣用于硅外延時(shí)，在高溫下氫中的微量氧和水汽易與硅作用生成二氧化硅而影響完整結(jié)晶生長，致使外延片的堆垛層錯(cuò)密度高，甚至變成多晶。

     氨氣在擴(kuò)散過程中作為運(yùn)載氣時(shí)，如果含有氧和水汽易使，比裝置的設(shè)置應(yīng)根據(jù)純度的要求，選擇相應(yīng)的氣體凈化裝置。

    為保證使用點(diǎn)氣體純度符合要求，規(guī)定氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處以縮短高純氣體管道的長度，避免污染，氣體終端凈化裝置應(yīng)該是距離用氣點(diǎn)越近越好，但往往受各種條件限制、難以實(shí)現(xiàn)，為此條文規(guī)定采用“宜”。

8．1.7在各種生產(chǎn)工藝過程中不僅對各種氣體純度要求十分嚴(yán)格，而且對氣體中含塵量也有相應(yīng)嚴(yán)格的要求，有關(guān)專家指出，高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要，因此規(guī)定了根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝要求設(shè)置相應(yīng)精度的氣體終端過濾器，并規(guī)定應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)。

     在潔凈廠房內(nèi)一般設(shè)置預(yù)過濾器和高精度終端氣體過濾器預(yù)過濾器是設(shè)在潔凈廠房氣體人口室的干管上，作為預(yù)過濾，以減輕終端過濾器的負(fù)擔(dān)，并延長其使用壽命。

     預(yù)過濾器的濾材通常采用多孔陶瓷管、多孔鋼玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纖維等。

     高精度終端氣體過濾器是設(shè)在靠近用氣設(shè)備的支管上。其濾材采用超細(xì)玻璃棉高效濾紙、醋酸纖維素濾膜、粉末金屬材料等。

8.1.8進(jìn)入潔凈廠房的氣體、液體管道種類根據(jù)生產(chǎn)工藝的不同 確定，一般各種管道上均設(shè)有總控制閥門，壓力表、流量計(jì)、過濾器、調(diào)壓裝置、在線分析儀等，為安全可靠運(yùn)行和方便管理，應(yīng)將這些控制裝置、附件集中設(shè)置在氣體、液體入口室或分配室內(nèi)。對于甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)用氣體、液體入口室或分配室內(nèi)，可能有可燃?xì)怏w、液體管道如氫氣、燃?xì)獾葧r(shí)，在與潔凈廠房毗連布置時(shí)，應(yīng)按本條第1款的規(guī)定實(shí)施，據(jù)調(diào)查，現(xiàn)有的這類潔凈廠房大多均按此類要求進(jìn)行布置，設(shè)在潔凈廠房邊跨靠外墻的房間內(nèi)，并應(yīng)以耐火極限大于3.0h的隔墻與相鄰房間分隔；還應(yīng)設(shè)置好的通風(fēng)措施，及時(shí)排除可能泄漏的可燃?xì)怏w等，并應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)（建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定，設(shè)置必要的泄壓面

織，電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)D50058的規(guī)定進(jìn)行爆炸危險(xiǎn)環(huán)境的設(shè)防。本條規(guī)定涉及潔凈廠房的安全穩(wěn)定運(yùn)行，所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。